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半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣處理方案
  半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)的過程中,會產(chǎn)生大量的有機物以及有毒有害物質(zhì),特別是VOCs氣體,如直接排放VOCs氣體,對大氣層將會造成較為嚴重的危害,所以今天小編將與大家分享一份關(guān)于:半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣處理方案。
 
  目前在市場上,工業(yè)廢氣處理主要采用的是焚燒或者是吸附的方法,還有一種少見的熱氧化法,但是由于半導(dǎo)體廢氣中的有機物會被氧化掉,所以只有在大流量、低濃度的氣體的情況下使用該方法。
半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備
 
  吸附法:
  活性炭吸附法是利用活性炭表面上的多孔,去吸附有機廢氣中的有害物質(zhì)或者是可回收物質(zhì),其吸附劑選擇性高,而且凈化效率高,活性炭再吸附后需作再生處理。
  優(yōu)勢:活性炭吸附設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單,可實現(xiàn)自動化操作,采用活性炭作為吸附劑,其運行成本低,而且對于廢氣中水蒸氣的靈敏度不高。
 
  焚燒法:
  焚燒法的工作原理是將廢氣中的有機物經(jīng)過熱氧化轉(zhuǎn)化為二氧化碳和水,一般處理的是濃度和風(fēng)量較為穩(wěn)定的廢氣。
  有機廢氣處理方法一般會使用直接燃燒法、催化燃燒法、活性炭吸附法、冷凝法等,很多時候會采用燃燒法和吸附法相結(jié)合。
 
  對于半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣這種大風(fēng)量、廢氣成分復(fù)雜而且濃度低的有機廢氣處理比較適合燃燒法和吸附法相結(jié)合的方法。
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